光刻機(jī)是制造集成電路和半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵設(shè)備之一，其精度和穩(wěn)定性對于芯片的性能和可靠性具有決定性的影響。在光刻機(jī)使用時(shí)，黃光區(qū)是一個(gè)空氣管控的重要區(qū)域，潔凈度達(dá)到ISO Class2、ISO Class1級。
潔斐然微環(huán)境潔凈棚，適配潔斐然U17過濾器，適用于微電子半導(dǎo)體工業(yè)的光刻黃光區(qū)，多層凈化，為光刻品質(zhì)提供保護(hù)。圖為潔斐然為國內(nèi)某著名科技大學(xué)黃光區(qū)進(jìn)行空氣凈化管控建設(shè)，特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，解決安裝空間緊湊有限的難題，且保障了維保便捷。
